Vakuumtechnik - Vacuum Technology ...

Ob groß oder klein, wir haben Know How für vielfältige Anlagen-Typen und - Größen. Unsere Spezialität ist die Konstruktion von großen Vakuumkammern in Edelstahl, Aluminium (gefräst) und als Al-Gusskonstruktion. Ein weiterer Konstruktions-Schwerpunkt liegt in der Automatisierung der Substrat-Be- bzw. Entladung und bei Prozessgasversorgungen. Aber auch alle anderen Komponenten aus dem Bereich Vakuumtechnik sind unser "täglich Brot".

We have know-how available for a lot of machine types and sizes. One of our specialities is the design of vacuum chambers made in stainless steel, milled aluminum or in aluminum casted design. Another focus is on automatisation for substrate loading and unloading and in process gas supplies. But also all other components needed for a vacuum technology are our "daily bread".

Berechnung - Calculation

Mit unseren professionellen Programmen legen wir Ihren Pumpstand zugeschnitten auf die gegebenen Geometrien und Gasflüsse aus ...

With our professional Software we can calculate your pump racks for different chamber sizes, gas flows etc. ...

Anlagen und Komponenten Machines and Components

Wir kennen uns aus mit Beschichtungsquellen, Schleusenventilen, Kammern, Medienversorgungen ....

We have know-how  in the area of coating sources, laod-lock-valves, chambers, media supplies ...

Automatisierung Automatisation

Substrate müssen in und aus dem Vakuum gefördert bzw. gehandelt werden - unser Spezialgebiet, gerne auch mit Fertigungsvergabe ...

Substrates have to be loaded and unloaded in / from machines - our Special know-how! If needed also with manufacturing ...